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国产的SP光刻机到底牛在哪儿?‘万象国际平台’

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国产的SP光刻机到底牛在哪儿?‘万象国际平台’

2021-05-31  点击量:

本文摘要:最近,中国顺利开发的世界上第一个辨别力最低的紫外超强辨别雕刻装备的新闻被屏幕上印刷了。

最近,中国顺利开发的世界上第一个辨别力最低的紫外超强辨别雕刻装备的新闻被屏幕上印刷了。有的人欢喜鼓舞,有的人不屑一顾。那么,这个装备的实力如何,牛在哪里呢?再问你最关心的两个问题。

1、我们能构筑芯片完全国产化吗?问:继续下去也有勇气。2、不刮不白,这个装备知道这么得意吗,还是只吹牛?问:我显然很擅长。许多人只盯着新闻中的22纳米指标,但每个人都应该注意365纳米的光源,单曝光宽度平均为22纳米。你注意到我加黑的关键词了吗?22nm指标有意思,但行业已经实现你在哪里得意?因此,重要的是用365nm的光源一次暴露22nm,不知道点光学的人告诉我这意味着什么。

超越了传统的散射。所以,我认为这台机器仅次于的价值是检查表面等离子体(SP)雕刻加工的可行性。这个SP雕刻机和ASML雕刻机的比较怎么样?推荐不合理的例子吧。

这看起来初期的枪械和最擅长的弓箭的比较。早期的枪械,比如火枪,射击精度和射击距离都比不上擅长的弓箭,但现在的狙击枪早就追赶弓箭10万8千里是原理性的胜利。

解读刚才说的这个原理胜利是怎样的,首先要总结以ASML为代表的传统雕刻机是怎样的。以上是ASML雕刻机非常简单的原理图,充满了简单的监视设备,最核心的原理是通过镜子系统缩印口罩版的图案。与光学过程有关,不得不考虑光的散射无限大。即使一切几何学都很差,由于散射的发展,无限小的点光学也不会成为致密斑,被称为艾里斑。

因此,实际光学系统光学的分辨率是两个艾里斑正好需要分离的距离。因此,由于散射效果,光学分辨率不受限制,最终分辨率不同波长、数值孔径等参数,波长越小,数值孔径越大分辨率越高。

ASML近年来的主要研究方向是利用更短的波长(接近紫外-浅紫外-极紫外),减少数值孔径(更简单的镜子、液体水龙头)。但是,每次更加困难,系统设计、加工组装、误差检查等多方面都明确提出了更严格的拒绝,成本也更高。表面等离子体的光刻是怎样的呢?表面等离子体是指局域在物质表面的类似电磁波,随着物质表面距离的减少而迅速变动,一般指出波长量级以上的区域不存在。

更神秘的是,表面等离子波由其他电磁波引起,但波长不大传输,传输比例各不同材料的电磁性质等参数。这意味着利用表面等离子波展开光刻时,原理上不被传统的散射无限大的允许。

在雕刻机的开发中,我们还有两个自由选择。是延长ASML的老路,还是开辟新的原理急转弯?我国目前有两个自由选择。

这台SP雕刻机的开发成功是看到急转弯的可能性。只是原理上,这不是急转弯,而是别人还在走山路的时候,我们试着做隧道……还没有几乎挖掘出来,曙光就在眼前。

(公共编号:)特约原稿允许禁止发布。下一篇文章发表了注意事项。


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